Étalons de Calibration AFM/SPM

Alors que les nanotechnologies ont une importance grandissante dans les activités de recherches industrielles et universitaires, la demande pour des mesures précises à l'échelle sub-micron est croissante. Il en est ainsi pour les microscopes à force atomique (AFM) et les microscopes à sonde locale (SPM) qui ont besoin d'être calibrés à l'aide d'étalons afin d'obtenir une plus grande précision.

SILIOS Technologies a développé et breveté des étalons pour la calibration de dimensions verticale inférieure à 20 nanomètres pour les AFM et les SPM. Différentes gammes de hauteur sont proposées, allant de 1nm à 20nm. Les étalons de calibration peuvent être fournis séparément, ou répartis sur un seul étalon.

www.silios.com

Gammes de Hauteur
Code:	Gamme de Hauteur3:
SIL0201 SIL0101 SIL0051 SIL0012	20nm 10nm 5nm 1nm
1Disponible 2En développement 3La valeur nominale peut varier de +/-2nm
Tolérances:
Typique: +/-1nm Option 1: certifié SILIOS (mesures optiques et mécaniques) Option 2: Certification par un laboratoire accrédité (basé sur ISO5436)
Spécifications
Taille de la puce: Zone effective: Matériel: Écart du réseau: Configuration:	5mm x 5mm x 0.5mm 1mm x 1mm SiO2 or Si 5µm classique ou en escalier
Applications
Microscope à force atomique (AFM) Microscope à sonde locale (SPM)
Domaines
Métrologie scientifique et industrielle
Puce entière		Zone cible
Configuration du réseau
Classique
En escalier

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